MOCVD设备用高真空阀门KF50

 美国a&n公司为veeco的mocvd设备生产的原厂配件。

同样德国aixtron设备同样造用。

产品特点：

vacuum rating of 1x10-8torr

适合在高真空环境下使用，真空度可以达到1x10-8torr

bakeable to 150oc (200oc intermittent)

适用于150摄氏度高温长期使用（瞬时测度200度）

manufactured from 316l stainless steel

由高品质sus316l材质的不有锈钢材质制成，强度更好。

high conductance; straight through flow

高导电性，气体流动顺畅

particulate resistant ball/seat design lengthens time between maintenance cycles

防尘球阀设计，寿命长。

service valve without removal from the system

可以实在在线维护，无需要拆解。

本产品的品牌是A&N，型号是F4200-QF50，材质是SUS316L，连接形式是法兰，结构形式是固定球球阀，公称通径是46.7（mm），适用介质是各种高腐蚀化学介质，压力环境是高压，工作温度是高温，标准是美标，流动方向是双向，驱动方式是手动，零部件及配件是配件，用途是排气，类型(通道位置)是直通式，作用对象是MOCVD设备，规格是见图纸中的DRAWINGB